1. 第一階段應檢附之書件：
2.補辦臨時工廠登記審查表(第一階段)：﹝點選開啟第一階段審查表﹞
3.補正與展延
申請人提送之文件有缺漏或不符規定者，地方主管機關得命其於三十日內補正。必要時，得依申請人之申請展延之。但以一次為限，且展延期間不得超過三十日。申請人逾期未補正者，地方主管機關得駁回其申請。
4.第一階段審查應駁回之事由
(1)申請日期逾越一百零一年六月二日。
(2)非於九十七年三月十四日前從事物品製造、加工活動，或無法提出證明。
(3)有工廠管理輔導法第十五條第一款、第七款或第八款所定情形之ㄧ。
(4)經環境保護單位認定非屬低污染事業。
(5)經水土保持單位認定位於特定水土保持區。
(6)經水利單位認定位於河川區域、排水設施範圍或水庫蓄水範圍。
5.其他應注意事項
地方主管機關受理申請案件後，應辦理審查並造冊列管。
審查時，應加會環境保護、水利及水土保持單位。
地方主管機關之審查結果應以書面通知申請人，並副知環境保護、水利及水土保持單位。
二、第二階段應檢附之書件、審查表及相關事項：
1. 第二階段應檢附之書件：
2.補辦臨時工廠登記審查表(第二階段) ：﹝點選開啟第二階段審查表﹞
3.繳交登記回饋金
申請補辦臨時工廠登記案件經審查通過者，地方主管機關應以書面通知申請人，並命其向地方主管機關一次繳清登記回饋金。
申請人繳交登記回饋金後，地方主管機關應核發臨時工廠登記證明文件並造冊列管。同時副知環境保護、消防、水利、水土保持、都市計畫、地政、農業及建築管理單位。
4.補正與駁回
第二階段審查時，申請人提送之文件不符未登記工廠補辦臨時工廠登記辦法第八條規定或有缺漏，經地方主管機關限期補正而未補正者，得予駁回。
5.其他應注意事項
地方主管機關辦理審查時，得邀集環境保護、消防、水利、水土保持等單位組成聯合審查小組或以加會、併行審查之方式，就其主管法令進行審查。必要時，得辦理現場會勘。
